三坐標測量機是典型的機電一體化設備。一般由機械系統和電子系統兩個大部分組成。三坐標測量機械系統:一般由三個正交的直線運動軸構成。三坐標測量機三個軸上均裝有光柵尺用以度量各軸的位移。電子系統:電氣系統、軟件系統及探測系統所組成。電氣系統包括電控柜及計算機;三坐標測量機測量軟件形式很多,如通用軟件、統計分析軟件等,由于誤差補償技術的發展以及算法和控制軟件的改進,測量機精度在很大精度上依賴于軟件,測量機精度的提高可通過使用固定補償模型或自適應補償模型,或將兩者結合起來完成。固定補償模型的精度取決于坐標測量機的測量重復性、補償模型的完善程度以及校準方法的精度。自適應補償模型用于校正坐標測量機隨機發生的幾何構成上的變化,目前大多數測量機還沒有采用溫度變化條件下的自適應補償技術;探測系統是由測頭及其附件組成的系統,測頭是坐標測量機的關鍵部件,測頭精度的高低很大程度決定了測量機的測量重復性及精度。與其它技術指標相比,提高測頭的性能難度*大。由LEITZ公司開發的實用高精度測頭---三維電感測頭取得**以來,至今改進不大。而英國RENI SHAW公司近年來不斷推出新產品,向世界三坐標測量機制造商提供約80%以上的測頭。CMM可以配置不同的測頭傳感器。主要有接觸類與非接觸類兩種,接觸式測量方法主要采用觸發式或掃描式接觸探頭,測量精度高。而非接觸測量方法主要有激光三角法、投影光柵法、自動斷層掃描、工業CT和核磁共振(MRI)等。當硬件各部分一定時測量軟件的質量將直接決定測量結果的**度。三坐標測量機 系統組成介紹
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